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PECVD를 이용하여 플라즈마 중합된 저유전상수 cyclohexane 박막의 특성과 C - H 양과의 관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
플라즈마 중합된 저유전상수 para - xylene 박막의 H₂+He 플라즈마 처리에 의한 유전 및 열 특성 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
Ultra low - k 값을 갖는 저유전상수 물질의 PECVD증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
증착조건에 따른 인듐 위에 증착된 hexamethyldisiloxane 박막의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
P - xylene precursor를 사용하여 PECVD로 증착한 저유전상수 polymer와 금속 (Cu, Ti, Ta)의 계면반응에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
(CyOz)-SiHx 전구체로 중착된 저유전상수 유동박막의 산소 분압에 따른 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
내장형 유도 결합 플라즈마를 사용한 박막 증착 장치의 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
상압 플라즈마를 이용한 고품질 고속증착 실리콘 박막의 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
In-line 시스템 방식의 대기압 플라즈마 증착 장비를 이용한 HMDS/O₂조성에 따른 SiO₂ 박막 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Remote방식의 대기압 플라즈마 장치를 이용한 SiO₂ 박막 증착 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Decamethyl - cyclopentasiloxane과 cyclohexane 단량체를 이용한 플라즈마 중합된 저유전상수를 갖는 박막의 증착압력 변화에 따른 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
증착공정에서 발생하는 플라즈마의 실시간 측정과 증착박막에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
펄스 파워 유도결합 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
유기 실리콘 시료를 이용하는 유도결합형 플라즈마 산화막 증착장치에서의 플라즈마 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
원거리 플라즈마 화학증착법(RPECVD)에 의해 증착한 Carbon Nitride 박막의 구조적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
Flexible FPD의 확산방지막으로 적용키 위한 상압 플라즈마 화학기상증착법을 이용한 SiO₂ 박막 증착에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
상압 플라즈마를 이용한 carbon film 증착 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
Batch - Type 원자층 증착 방법으로 형성한 실리콘 질화막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2003 .12
PECVD 증착조건 변화에 따른 a-C:H 박막의 구조 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
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