PECVD 증착 변수와 in - situ IR cell 을 이용한 온도별 a - Si : H 의 특성 변화

강진규; 박영배; 이시우

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저자정보: 강진규 박영배 이시우

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제12회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1997.2

수록면: 66 - 66 (1page)

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