승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피텍시에 관한 연구

최태희 ,  남승의 ,  김형준

Applied Science and Convergence Technology

1996 .09

In-situ magnetization measurements and ex-situ morphological analysis of electrodeposited cobalt onto chemical vapor deposition graphene/SiO₂/Si

F ,  anco ,  Vinicius C. De 외 10명

Carbon letters

2017 .01

Epitaxial growth of Si film on CeO₂ / YSZ / Si(111)

양지훈 ,  이기욱 ,  서진우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films

김윤해 ,  이석규 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Epitaxial Ag Film Growth on Si(100)

S. Ahn ,  J. Y. Han ,  N. H. Kim 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Si nano dots growth using pulse-type gas feeding with Si₂H₆ in LPCVD

Chan Pa ,  k ,  Soonjae Jung 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Epitaxial growth of Ge on Si(114) - 2×1

강영화 ,  이혜정 ,  김희동 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02

X선회절을 이용한 Si / SiO₂ 및 Si / SiO₂ / poly - Si의 응력측정

임규홍 ,  김도진 ,  김상기 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Analysis of Si-, O- and H- bonding effect at Si-SiO₂ interface for c-Si surface passivation quality by thermal oxidation

Jiyoon KANG ,  Minhan JEON ,  Donghyun OH 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

A first principles study on magnetism of Fe3Si on Si(001) and Si(111) substrates

Do ,  j Odkhuu ,  Won Seok Yun 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

실리콘 결정의 수소 흡수 : Si(100) vs. Si(111)

정민복 ,  조삼근

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Epitaxial CoSi₂ using sacrificial Si on Si0.83Ge0.17 / Si(001) Schottky contact의 계면적 및 전기적 특성에 관한 연구

반상현 ,  신동옥 ,  안영섭 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .02

Low - Temperature Si(001) Layer Grown Using Low - Energy Hyperthermal Si Atoms in UHV Ion - Beam Sputter Deposition : Epitaxial Thickness and Hydrogen Concentration

이내응

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

절연체(CeO₂ / Si)위에 성장된 실리콘 박막의 특성 연구

양지훈 ,  문병식 ,  김관표 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

1999 .08

ULSI 확산억제막으로 적합한 Ti - Si - N의 조성 범위에 관한 연구

박상기 ,  강봉주 ,  양희정 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2001 .10

Metal nanowires formed on high - index Si surfaces : Bi / Si(5 5 12) vs Ag/ Si(5 5 12)

S. H. Cho ,  J. M. Seo

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Comparison of Si / Si0₂ Interface Formed by Remote Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition and Thermal Oxidation

Young-Bae Pa ,  k ,  Xiaodong Li 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

이온선보조증착에의한 Si1-xGex(x=0.2, 0.5)층의 저온정합성장에 관한연구

박상욱 ,  백홍구

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

Ca/Si(111)-2x1에서 에피성장을 통한 Si단결정 성장가능성에 관한 Si원자의 흡착과 확산에 대한 전산모사연구

여강모 ,  정석민

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02