공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향

황완식 ,  최승진 ,  이인규

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

LPCVD법으로 증착된 비정질 실리콘박막의 고상결정화에 미치는 자기이온주입효과

황의훈 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

LPCVD 공정시간에 따른 silicon 의 결정화 특성 연구

최광남 ,  김성기 ,  곽성관 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

반구형 LPCVD 다결정 실리콘 박막의 구조 및 특성

박영진 ,  김종철

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

LPCVD 다결정 실리콘 박막의 SSIC (seed selection through ion channeling)공정에 관한 연구

황의훈 ,  정세진 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

마이크로파 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)과 저압 화학기상증착법(LPCVD)을 이용한 실리콘 기판 위에서의 텅스텐 박막증착

김성훈 ,  송세안 ,  김성근

Applied Science and Convergence Technology

1992 .06

Reverse annealing of boron doped polycrystalline silicon

임정윤 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Reverse annealing of boron doped polycrystalline silicon

Won-Eui Hong ,  Jae-Sang Ro

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

In - Situ doped Amorphous Silicon 박막의 특성

라사균 ,  정호영 ,  양두영 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

엑시머 레이저 어닐링을 이용하여 플라스틱 기판에 형성한 다결정 실리콘 박막의 특성

조세현 ,  이인규 ,  김영훈 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2004 .03

Monte Carlo 법을 이용한 저압화학증착 공정에서의 미세박막 증착패턴에 관한 전산모사

윤종호 ,  박상규 ,  이시우

한국진공학회 학술발표회초록집

1994 .02

태양전지용 CdTe 박막의 물리적ㆍ 전기적 특성에 미치는 열처리 효과

김현수 ,  조영아 ,  염근영 외 3명

Applied Science and Convergence Technology

1995 .09

Solid - phase crystallization of amorphous silicon films deposited by plasma - enhanced chemical vapor deposition

Jung-Keun Lee

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

1998 .04

Solid Phase Crystallization of Amorphous Silicon Films at High Temperatures

김윤수 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

: LPCVD 실리콘 박막의 저온 열처리에 따른 결정화 거동에 관한 연구

김철수 ,  한정인 ,  김원근 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

이온주입 된 다결정 실리콘 박막의 Reverse Annealing 거동

임정윤 ,  김윤수 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

Pre - deposition과 Layer - by - Layer 방법으로 증착된 다결정 실리콘 박막의 특성 연구

권대진 ,  송병권 ,  남창우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Low field magnetoresistance of polycrystalline La-Sr-MnO₃ thin films prepared by the post annealing of amorphous films deposited by DC-magnetron sputtering

Young-Min Kang ,  A.N Ulyanov ,  Sang-Im Yoo

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .12

LPCVD를 이용한 Poly-Si박막 증착 및 박막 트랜지스터 분석

장경수 ,  정성욱 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02