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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2005.1
- 수록면
- 96 - 106 (11page)
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An integrated single-wafer processing tools, composed of multiple single wafer processing modules, transfer robots, and load locks, has complex routing sequences, and often has critical post-processing residency constraints. Scheduling of these tools is an intricate problem, and testing schedulers with actual tools requires too much time and cost. The Single Wafer Processor (SWP) simulator presented in this paper is to validate an on-line scheduler, and evaluate performance of integrated single-wafer processing tools before the scheduler is actually deployed into real systems. The data transfer between the scheduler and the simulator is carried out with TCP/IP communication using messages and files. The developed simulator consists of six modules, i.e., GUI (Graphic User Interface), emulators, execution system, module managers, analyzer, and 3D animator. The overall framework is built using Microsoft Visual C++, and the animator is embodied using OpenGL API(Application programming Interface).
목차
Abstract
기호설명
1. 서론
2. 매엽식 통합제조장비
3. 시뮬레이터의 구성
4. 예의상황 처리
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (28)
참고문헌 신청
Hong, S.B., Lee, D.Y. and Yoon, H.J., 2001, "Semiconductor Track System Simulator," Proceedings of IEEE International Conference on Systems, Man, and Cybernetics, Tucson, Arizona, USA, October 7-10, Vol. 2, pp. 1036~1040.
Dummler, M.A., 1999, "Using Simulation and Genetic Algorithms to Improve Cluster Tool Performance," Proceedings of the Winter Simulation Conference, Phoenix, Arizona, USA, December 5-8, Vol. 1, pp. 875~879.
Kunnathur, A.S., Sundararaghavan, P.S. and Sampath, S., 1996, "Dynamic Rescheduling of a Job Shop: A Simulation Study," Proceedings of the Winter Simulation Conference, Coronado, California, USA, December 8-11, pp. 1091~1098.
Wood, S.C., 1996, "Simple Performance Models for Integrated Processing Tools," IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Vol. 9, No. 3, pp. 320~328.
Nehme, D.A. and Pierce, N.G, 1994, "Evaluating Simulations," Proceedings of IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop, Cambridge, Massachusetts, USA, November 14-16, pp. 189~192.
Dummler, M.A., 1999, "Using Simulation and Genetic Algorithms to Improve Cluster Tool Performance," Proceedings of the Winter Simulation Conference, Phoenix, Arizona, USA, December 5-8, Vol. 1, pp. 875~879.
Kunnathur, A.S., Sundararaghavan, P.S. and Sampath, S., 1996, "Dynamic Rescheduling of a Job Shop: A Simulation Study," Proceedings of the Winter Simulation Conference, Coronado, California, USA, December 8-11, pp. 1091~1098.
Wood, S.C., 1996, "Simple Performance Models for Integrated Processing Tools," IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Vol. 9, No. 3, pp. 320~328.
Nehme, D.A. and Pierce, N.G, 1994, "Evaluating Simulations," Proceedings of IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop, Cambridge, Massachusetts, USA, November 14-16, pp. 189~192.
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