실리콘에서의 불순물 분포의 산출 ( Characterization of Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

실리콘에서의 2차원적 불순물의 분포의 산출 ( Characterization of Two-Dimensional Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

전자공학회논문지

1986 .11

반도체 내에서의 2차원 불순물 분포를 얻기 위한 수치해법의 비교 ( Comparison of Numerical Methods for Obtaining 2-D Impurity Profile in Semiconductor )

양영일 ,  경종민 ,  오형철

전자공학회지

1985 .05

수치해석 프로그램을 이용한 실리콘 내에서의 불순물 분포의 산출 ( Characterization of Impurity Profile in Silicon using Iterative Parabolic Solver )

양영일 ,  오형철 ,  경종민

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출 ( A Production of Two-dimensional impurity using Boundary Element Method in Silicon )

김찬규 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출

김찬규 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

실리콘내 불순물 확산 공정에 관한 유한요소 해석

권오근 ,  박화식 ,  송영진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

실리콘내 불순물 확산 공정에 관한 유한요소 해석 ( Finite Element Analysis of Impurity Diffusion in Silicon )

권오근 ,  박화식 ,  송영진 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

SPIN-ON SOURCE에 의한 실리콘內의 불순물 확산

金忠基 ,  鄭泰源

전기의세계

1978 .12

BEM을 이용하여 열산화를 고려한 실리콘 내에서 불순물의 2차원 재분포에 관한 연구 ( Two-Dimensional Redistribution of Impurity Considering Thermal Oxidation in Silicon Using BEM )

김훈 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

BEM을 이용하여 열산화를 고려한 실리콘 내에서 불순물의 2차원 재분포에 관한 연구

김훈 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

BF+2 이온 주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구 ( A Study on the Lattice Damages and Impurity Depth Profiles of BF+2 Ion Implanted Silicon )

권상직 ,  백문철 ,  차주연 외 1명

전자공학회논문지

1988 .03

BF⁺₂ 이온주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구

권상직 ,  백문철 ,  차주연 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1988 .04

금속 불순물 오염에 따른 실리콘 기판 및 태양전지 특성의존성 분석

백상훈 ,  이정철 ,  조준식 외 2명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .06

산세에 의한 금속급 실리콘의 금속 불순물 제거

김준수

한국에너지학회 학술발표회

2015 .04

SIMS를 이용한 BF⁺₂ 이온주입된 실리콘에서의 불순물 재분포에 대한 연구

이대훈 ,  손용선 ,  이순영 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1988 .04

SIMS를 이용한 BF2+ 이온주입된 실리콘에서의 불순물 재분포에 대한 연구

이대훈 ,  손용선 ,  이순영 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1988 .01

이차원 불순물 분포의 도출 방법-이론 ( Extraction Method for 2-Dimensional Doping Profile-Theory )

김경태 ,  오춘식 ,  경종민 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

MeV 이온주입된 실리콘의 열처리시 불순물과 이차결함간의 상호작용

장윤택 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

실리콘 결정체에서 불순물의 불규칙적인 확산에 관한 연구

김광수 ,  김지헌

대한전자공학회 학술대회

1983 .01