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이용수
Abstract
2. 불순물의 확산에 대한 물리적 고찰
3. Model의 수치 해석
4. 결론
References
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경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출 ( A Production of Two-dimensional impurity using Boundary Element Method in Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1987 .07
실리콘에서의 2차원적 불순물의 분포의 산출 ( Characterization of Two-Dimensional Impurity Profile in Silicon )
전자공학회논문지
1986 .11
실리콘에서의 불순물 분포의 산출 ( Characterization of Impurity Profile in Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
수치해법에 의한 실리콘에서의 불순물의 분포의 산출 ( Numerical Evaluation of Impurity Profile in Silicon )
전자공학회지
1984 .11
실리콘내 불순물 확산 공정에 관한 유한요소 해석 ( Finite Element Analysis of Impurity Diffusion in Silicon )
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
실리콘내 불순물 확산 공정에 관한 유한요소 해석
대한전자공학회 학술대회
1990 .11
수치해석 프로그램을 이용한 실리콘 내에서의 불순물 분포의 산출 ( Characterization of Impurity Profile in Silicon using Iterative Parabolic Solver )
대한전자공학회 학술대회
1984 .01
BEM을 이용하여 열산화를 고려한 실리콘 내에서 불순물의 2차원 재분포에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1988 .07
BEM을 이용하여 열산화를 고려한 실리콘 내에서 불순물의 2차원 재분포에 관한 연구 ( Two-Dimensional Redistribution of Impurity Considering Thermal Oxidation in Silicon Using BEM )
대한전자공학회 학술대회
1988 .07
SPIN-ON SOURCE에 의한 실리콘內의 불순물 확산
전기의세계
1978 .12
경계요소법을 이용한 3차원 격자 형성
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
1995 .11
고농도 불순물 확산 공정을 위한 3차원 시뮬레이션에 관한 연구 ( A Study on the Three-Dimensional Simulation for High Concentration Impurity Diffusion Process )
전자공학회논문지-A
1996 .08
반도체 내에서의 2차원 불순물 분포를 얻기 위한 수치해법의 비교 ( Comparison of Numerical Methods for Obtaining 2-D Impurity Profile in Semiconductor )
전자공학회지
1985 .05
금속 불순물 오염에 따른 실리콘 기판 및 태양전지 특성의존성 분석
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2009 .06
경계요소법을 이용한 2차원 와전류 문제에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1999 .07
이차원 불순물 분포의 도출 방법-이론 ( Extraction Method for 2-Dimensional Doping Profile-Theory )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
산세에 의한 금속급 실리콘의 금속 불순물 제거
한국에너지학회 학술발표회
2015 .04
SIMS를 이용한 BF⁺₂ 이온주입된 실리콘에서의 불순물 재분포에 대한 연구
대한전자공학회 워크샵
1988 .04
Development of the direct boundary element method for thin bodies with general boundary conditions
한국소음진동공학회 학술대회논문집
1997 .05
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