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대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (전기/전자공학)
발행연도
1988.7
수록면
370 - 374 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1988

BEM을 이용하여 열산화를 고려한 실리콘 내에서 불순물의 2차원 재분포에 관한 연구 ( Two-Dimensional Redistribution of Impurity Considering Thermal Oxidation in Silicon Using BEM )
김훈 ,  황호정 대한전자공학회 학술대회 1988.07 학술대회자료
BEM을 이용하여 열산화를 고려한 실리콘 내에서 불순물의 2차원 재분포에 관한 연구
김훈 ,  황호정 대한전기학회 학술대회 논문집 1988.07 학술대회자료

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