실리콘 결정체에서 불순물의 불규칙적인 확산에 관한 연구

김광수; 김지헌

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저자정보: 김광수 김지헌

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술발표회 논문집 (반도체/재료부품/CAD/VLSI) 제2권 1호

발행연도: 1983.1

수록면: 56 - 58 (3page)

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