SIMS를 이용한 BF⁺₂ 이온주입된 실리콘에서의 불순물 재분포에 대한 연구

이대훈 ,  손용선 ,  이순영 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1988 .04

BF2+ 이온주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구

권상직 ,  백문철 ,  차주연 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1988 .01

BF+2 이온 주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구 ( A Study on the Lattice Damages and Impurity Depth Profiles of BF+2 Ion Implanted Silicon )

권상직 ,  백문철 ,  차주연 외 1명

전자공학회논문지

1988 .03

BF⁺₂ 이온주입된 실리콘 시료의 격자손상과 불순물 농도분포에 대한 연구

권상직 ,  백문철 ,  차주연 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1988 .04

B+ 및 BF2+ 가 이온 주입된 실리콘 웨이퍼의 Annealing 효과 ( Annealing Effect ofr the B+- and BF2+- Implanted Silicon Wafers )

권상직 ,  권오준 ,  정호선

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

TiN/TiSi₂ 경합반응과 불순물 재분포 특성에 대한 기판 실리콘에 주입된 BF₂ 불순물 농도의 영향

李鐵眞 ,  成英權

전기학회논문지

1993 .06

Si 기판에 주입된 BF2불순물이 Ti Silicides 형성에 미치는 영향 ( Effects of Implanted BF2 on the Formation of Ti-Silicides )

최석훈 ,  최진석 ,  백수현

전자공학회논문지

1990 .12

BF2+가 이온 주입된 코발트로부터 확산하여 얻어진 매우 얇은 p+ / n 접합의 형성 ( Formation of Ultra-shallow p+ / n Junction by Diffusion from BF2+ Implanted Co Metal )

이석운 ,  민경익 ,  주승기

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

실리콘에서의 불순물 분포의 산출 ( Characterization of Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

이온 주입 기술 현황

김종국 ,  이구현 ,  이상로

기계와 재료

2001 .01

TaSi2 형성시 단결정 실리콘 기판에 이온주입된BF2의 거동 ( The Behavior of BF2 Implanted Single Crystalline Si Substrates During the Formation of TaSi2 )

조현춘 ,  양희준 ,  최진석 외 1명

전자공학회논문지-A

1991 .10

실리콘에서의 2차원적 불순물의 분포의 산출 ( Characterization of Two-Dimensional Impurity Profile in Silicon )

양영일 ,  경종민

전자공학회논문지

1986 .11

실리콘 결정체에서 불순물의 불규칙적인 확산에 관한 연구

김광수 ,  김지헌

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

BF2를 주입한 다결정 실리콘 게이트에서 유전 박막에 따른 Boron 침투에 대한 특성 분석 ( The Characteristics Analysis of Boron Penetration on BF2 Implanted gate with Dielectric Films )

박진산 ,  정윤호 ,  박광균 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

BF2 이온 주입된 P 다결정실리콘 게이트 PMOSFET의 Hot-Carrier 효과 ( Hot-Carrier Effect of BF2 Implanted p Polysilicon Gate PMOSFET )

김정태 ,  유동열 ,  양광선 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1991 .01

BF2 이온 주입으로 형성된 a-Si 및 poly-Si 층을 혼합한 새로운 P+ 게이트 전극 구조 특성 연구

김선우 ,  김기준 ,  손재현 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Monte Carlo 시뮬레이션을 이용한 단결정 실리콘에서의 이온 주입 불순물 농도 분포 및 점결함 분포의 계산

손명식 ,  이준하 ,  변기량 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

Monte Carlo 시뮬레이션을 이용한 단결정 실리콘에서 이온주입 불순물 농도 분포 및 점결함 분포의 계산 ( Monte Carlo Calculation of particle and Point Defect Distributions for Ion-Implanted Dopant in Crystalline Silicon )

손명식 ,  이준하 ,  변기량 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출 ( A Production of Two-dimensional impurity using Boundary Element Method in Silicon )

김찬규 ,  황호정

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

경계요소법을 이용한 실리콘 내에서 2차원 불순물 분포의 산출

김찬규 ,  황호정

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07