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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고 문헌
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이온선 보조 증착법을 이용한 Ti/Si계 반응에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Synthesis, Microstructure and Mechanical Properties of Ti-Si-B-C coatings by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
PECVD 법에 의해 증착된 Ti-Si-C 코팅막 내의 증착 온도와 r.f. Power에 따른 특성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
Ti-Si-C, Ti-B-C 코팅막 내의 증착온도에 따른 미세구조와 기계적 물성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
PECVD법에 의해 증착된 Ti-Si-C 코팅막내의 Si 함량과 증착온도에 따른 미세경도와 탄성계수변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
기상증착과 PECVD를 이용한 불화 유기박막의 증착
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
하이브리드 증착 시스템을 이용한 나노복합체 Ti-Si-N 박막의 특성 연구
한국표면공학회지
2003 .04
Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )
전자공학회논문지-A
1992 .08
Effect of Boron carbide thin films with RF power by plasma enhanced chemical vapor deposition
한국재료학회 학술발표대회
2005 .01
PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
플라즈마 화학증착법에 의한 TiN/(Ti,Al)N 다층박막의 제조 및 기계적 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
가스 유량과 RF Power에 따라 PECVD 방법으로 증착된 DLC 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
하이브리드 공정으로 제조한 Ti-Si-N 박막의 특성평가
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
$Til_{4}$를 이용한 Ti$Si_{2}$화학기상증착에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
Si 및 InP 위에 PECVD법에 의한 $Si_{3}N_{4}$의 증착
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
rf 플라즈마 화학기상증착기의 제작 및 특성
한국표면공학회지
2000 .04
하이브리드 증착 시스템에 의해 합성된 나노복합체 Ti-Al-Si-N 박막의 미세구조와 기계적 특성
한국표면공학회지
2003 .04
PECVD법에 의해 증착된 Ti-B-C 코팅막 내의 보론함량과 증착온도에 따른 미세구조 및 기계적 물성의 변화
한국표면공학회지
2005 .06
Fundamental Study of CNTs Fabrication for Charge Storable Electrode using RF-PECVD System
조명·전기설비학회논문지
2009 .07
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