Low-Temperature Growth of SiO2 Films by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition

Jung Wook Lim ,  Sun Jin Yun ,  Jin Ho Lee

[ETRI] ETRI Journal

2005 .02

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

플라즈마 진단에 의한 PECVD SiO₂ 증착의 불균일성 원인 연구

함용현 ,  이현우 ,  권광호

전기전자재료학회논문지

2011 .01

Deposition of Plasma Polymerized Films on Silicon Substrates Using Plasma Assisted CVD Method For Low Dielectric Application

M. C. Kim ,  S. H. Cho ,  J. H. Boo 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

Si-SiO2 계의 N2 Plasma 처리효과에 관한 연구 ( A Study on the Effect of N2 Plasma Treatment on the Si-SiO2 System )

성영권 ,  오재하 ,  이내인 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

Analysis of Electron Transport Coefficients in Binary Mixtures of TEOS Gas with Kr, Xe, He and Ne Gases for Using in Plasma Assisted Thinfilm Deposition

Do Anh Tuan

Journal of Electrical Engineering & Technology

2016 .03

Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )

정윤권 ,  정문식 ,  김흥락 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .08

$SiO_2$ RF Power와 증착 시간 변화에 따른 고유전 $TiO_2-SiO_2$ 절연막의 특성

김성연 ,  함문호 ,  명재민

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

N₂O 가스에서 열산화한 SiO₂막의 특성

김동석 ,  최현식 ,  서용진 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1992 .07

레이져 CVD에 의한 SiO₂막의 형성기구 모델링에 관한 연구

류지호 ,  소황영 ,  김영훈 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

Chemical Vapor Deposition of SiO Thin Films Using an Atmospheric Pressure Helium Plasma Jet and Hexamethyldisiloxane

Daisuke Usa ,  Ryosuke Taga ,  Tatsu 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

A STUDY ON FILM DEPOSITION MECHANISM OF SILICON DIOXIDE ( SiO2 ) FORMED BY PHOTO CVD

Ji Ho Ryoo ,  Yu Jin Ju ,  Jong Kwan Kim 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

슬젤법에 의해 제작된 SiO₂ 박막 특성 분석

유도현

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .11

증착 구간에서의 온도 제어에 따른 SiO 초미립자의 증착 특성 고찰

유수종 ,  김교선

산업기술연구 : 강원대학교 산업기술연구소

1996 .01

2단 튜브형 가열로 반응기에 의한 초미세 SiO 입자의 제조 및 증착 연구

유수종 ,  김교선

산업기술연구 : 강원대학교 산업기술연구소

1997 .01

TiN증착 조건에 따른 박막의 수명증대에 대한 실험적 연구

박일수

한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집

2010 .10

SIMS를 이용한 SiO₂/PSG/SiO₂/Al-1%Si 및 SiO₂/TEOS/SiO₂/Al-1%Si 적층 박막내의 Na 게터링 분석

김진영

한국표면공학회지

2018 .04

Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition of SiO₂ Thin Film at Atmospheric Pressure Using PDMS/O₂/He

June Hee Lee ,  Yang Soo Kim ,  Jong Sik Oh 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Study on the Formation of SiO₂ : F films Using Liquid Phase Deposition

이상국 ,  김철주 ,  P. Chanthamaly 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

Deposition of PEDOT Thin Film on PET : Plasma Treatment Effects

이장순 ,  장래윤 ,  김경민 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04