Remote PECVD와 Direct PECVD에 의해 증착된 실리콘 산화막의 특성 평가 ( Evaluation of Silicon Oxide Films Deposited by Remote PECVD and Direct PECVD )

정윤권 ,  정문식 ,  강봉구

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

PECVD법에 의한 DLC 박막의 증착

김상호 ,  김동원

한국표면공학회지

2002 .04

Remote PECVD 산화막의 증착특성 및 박막 특성 연구 ( A Study of Deposition Properties and Characteristics of SiO2 film Grown by Remote Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition )

정윤권 ,  정문식 ,  김흥락 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .08

PECVD에 의한 질화 실리콘 박막의 증착

허창우

한국정보통신학회논문지

2007 .11

플라즈마 화학증착법으로 제조한 B-doped a-$Si_{1-X}$$C_X$:H 박막을 이용한 비정질 실리콘 박막 태양전지에 관한 연구

정연학 ,  박재석 ,  이재신

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

표면 텍스쳐된 ZnO:Al 투명전도막 증착 및 특성

柳鎭洙 ,  李偵喆 ,  金錫基 외 3명

전기학회논문지 C

2003 .09

기상증착과 PECVD를 이용한 불화 유기박막의 증착

차남구 ,  이강국 ,  박진구 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

PECVD(Plasma enhanced chemical vapor deposition)방법에 의한 a-C:H 박막의 열처리에 관한 연구

한준희 ,  진억용

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

PECVD를 이용한 ZnO박막 증착시 증착 변수가 증착속도 및 결정 구조에 미치는 영향

김영진 ,  김형준

한국재료학회지

1994 .01

Deposition of ZnO working electrode using PECVD technique for dye sensitized solar cells

Su Young Lee ,  Sang Ho Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Crystallinity of ZnO Thin Films Prepared by RF Plasma CVD

Kenta ,  o Suzuki ,  Takahi 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

ICP-PECVD를 이용한 저온 ARC 박막 증착 공정

조국현 ,  조영준 ,  장효식

한국에너지학회 학술발표회

2013 .05

압전 소자용 ZnO 박막의 증착 및 물성 분석

이진복 ,  김귀현 ,  신양호 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .11

PECVD 방법으로 증착된 알루미늄 산화박막의 조성 및 구조 분석

김용천 ,  이원종 ,  천성순

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

PECVD를 이용한 Si₃N₄ 박막의 공정변수에 따른 특성분석과 응용

신재완 ,  이복형 ,  이성대 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1999 .06

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .06

PECVD 비정질 실리콘 증착 반응의 이론적 모델과 실험결과 ( Theoretical Model and Experimental Results of PECVD Amorphous Silicon Deposition Process )

김진홍 ,  남철우 ,  우성일 외 1명

전자공학회논문지

1990 .07

Hf 조성변화에 따른 Fe-Hf-N 자성박막의 특성

맹기호 ,  이진혁 ,  강계명 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

RF-PECVD법과 ECR-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 물성에 관한 비교 연구

김종석 ,  전병혁 ,  이응직 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교

전병혁 ,  김종석 ,  이응직 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01