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E-Beam Lithography 기술
전자공학회잡지
1984 .10
Electron Beam Lithography에서의 Cell Projection Mask를 이용한 Patterning
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
Fabrication of poly(vinyl alcohol)-patterned polystyrene substrate for patterning of cells by ion beam lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2013 .04
E-beam Lithography ( Equipment )
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
Patterning of mammalian cells on a poly(acrylic acid)-patterned polymer substrate prepared by ion beam contact lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2014 .04
Novel Chemically Amplified Resists for Electron Beam Lithography
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
1992 .10
Resist Development Process for Sub-0.15 mm Lithography by KrF Imaging
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Ion Beam Lithography for Submicron Structure Fabrication
대한전자공학회 워크샵
1989 .01
나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2005 .10
집속이온빔 리소그라피(Focused Ion Beam Lithography)의 노출 및 현상에 대한 몬테칼로 전산 모사
대한전기학회 학술대회 논문집
1994 .07
Application of New Empirical Model to the Electron Beam Lithography Process with Chemically Amplified Resists
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
Resist 표면 거칠기 예측을 위한 전자빔 리소그라피 시뮬레이션에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2002 .06
Direct Patterning of Self Assembled Nano-Structures of Block Copolymers via Electron Beam Lithography
Macromolecular Research
2005 .10
3 차원 패터닝을 위한 프리즘 응용 간섭 리소그라피
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2012 .05
삼층감광막구조를 이용한 미세패턴의 전자빔 묘화 ( Submicron Patterning in Electron Beam Lithography using Trilayer Resist )
전자공학회논문지-A
1994 .10
Colloidal Crystal Based Soft Lithography Nano-patterning and Its Applications
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .10
OEIC에서의 미세 patterning을 위한 polyimide lithography 연구
한국통신학회 기타 간행물
2002 .10
Current Status and Future of Electron Beam Lithography
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
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