E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

Fabrication of Ultrahigh-thick Submicron Structures

김광현 ,  유선영 ,  김성욱 외 5명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2017 .10

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Focused Ion Beam-assisted TEM 시편제작방법을 이용한 Submicron Contact의 불량분석

오영민 ,  김호정 ,  김정태

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

E-beam lithography 를 이용한 0.1μm NMODFET 제작 ( The Fabrication of the 0.1μm NMOSFET by E-beam Lithography )

유상기 ,  김여환 ,  전국진 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .01

Large-area and high-throughput fabrication of periodic structures by single beam laser interference lithography

Taejun Lee ,  Junsuk Rho

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Simulation and Edge Profiles of Chemically Amplified Resists with Highly Contrast in the Deep Submicron Range by using the Electron Beam lithography

Young Mog Ham ,  Chang Buhm Lee ,  Soo Hwan Kim 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

단일 공정에 의한 고효율 단일모드 반도체 레이저 구조 제작을 위한 고밀도 양자 나노구조 형성

손창식 ,  백종협 ,  김성일 외 4명

한국재료학회지

2003 .01

Electrical properties and thermal stability of Al/$WN_x$/Ti submicron contact structure

Kim ,  Yong-Tae ,  Sim 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

전자 빔 리소그래피를 이용한 나노 소자 제작

박수연 ,  이승우 ,  이재종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2006 .10

SUBMICRON DEVICE RELIABILITY RESEARCH

Chenming Hu

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Fabrication of in-Plane Gated Transistor with Electron-Beam lithography Technique

한철구 ,  김광무 ,  정석구 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Electron-Beam Lithography를 사용한 Sub-0.1㎛ T-Gate 제작에 관한 연구 ( Sub-0.1㎛ T-Gate Fabrication for Monolithic Microwave Integrated Circuits by Electron-Beam Lithography )

이수용 ,  신두식 ,  오재응 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1993 .01

Submicron Gate Structure의 신뢰성 및 노화현상에 관한 연구 ( Reliability and Degradation Phenomena of Submicron Gate Structure )

강광남 ,  이명복 ,  이정일

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

Submicron Gate Structure의 신뢰성 및 노화현상에 관한 연구 ( Reliability and Degradation Phenomena of Submicron Gate Structure )

이명복 ,  이정일 ,  강광남

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01

집속이온빔 리소그라피(Focused Ion Beam Lithography)의 노출 및 현상에 대한 몬테칼로 전산 모사

이현용 ,  김민수 ,  정홍배

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

Fabrication of poly(vinyl alcohol)-patterned polystyrene substrate for patterning of cells by ion beam lithography

정창희 ,  진유란 ,  황인태 외 2명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .04

저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Submicron 소자를 위한 고속열처리 공정 ( Rapid Thermal Processing for Submicron Devices )

김충기

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01