A Silicon Containing Resist for KrF Excimer Laser Lithography

박상진 ,  이해원

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1998 .04

Illumination Condition and Mask Bias for 0.18 mm Pattern with KrF Lithography

H. Tabuchi ,  Y. Shichijo ,  I. Okabe 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

전자빔 여기 KrF 레이저 특성에 관한 연구 (Ⅱ)

최부연 ,  이주희

대한전기학회 학술대회 논문집

1985 .07

전자 빔 여기 KRF 레이저 특성에 관한 연구 ( 1 ) ( Characteristics of Electron Beam Excited KRF Laser ( 1 ) )

이영우 ,  이주희 ,  김웅

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

KrF 형성의 완충기체 영향에 대한 이론적 해석 ( Theoretical Analysis of the Buffer Gas Effects in a KrF Formation )

최부연 ,  이주희

대한전자공학회 학술대회

1990 .01

Sub-0.1mm Patterning Characteristics of Inorganic Resists by Focused-Ion-Beam Lithography

Seung Woo Paek ,  Soo Ho Pa ,  k 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

용량이행형 방전여기 KrF 레이저의 개발

정재근 ,  최부연 ,  이주희

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .07

용량이행형 방전여기 KrF 레이저의 개발 ( Development of Discharge-pumped KrF Laser with Charge Transfer Type )

정재근 ,  최부연 ,  이주희

대한전자공학회 학술대회

1987 .07

방전여기 KrF 레이저의 프라즈마 프로세서 해석

최부연 ,  이주희

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

용량이행형 KrF 레이저의 방전특성 해석

崔富淵 ,  鄭在根 ,  李柱熙

전기학회논문지

1989 .10

하천망분석도(KRF)의 활용성 증대를 위한 공간데이터 구조 개선에 관한 연구

송현오 ,  이혁 ,  강태구 외 4명

한국물환경학회지

2016 .01

TMDL 업무 지원을 위한 Korean Reach File 공간자료 설계 개선 연구

이철용 ,  김계현 ,  박용길 외 1명

한국수자원학회논문집

2013 .01

항진균물질 KRF-001의 고생산성 변이주 분리

이항우 ,  김무경 ,  김성욱 외 2명

KSBB Journal

1994 .10

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

KRF를 연계한 GIS기반의 통합 물환경정보 관리시스템 구축 방안

이철용 ,  김계현 ,  박용길 외 1명

한국물환경학회지

2014 .01

한국기준주파수 (KRF)의 특성과 No.4 ESS 동기

김진옥 ,  김영범 ,  김종현 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .11

방전여기 KrF 레이저 장치의 방전 특성 해석 ( The Analysis of Discharge Characteristics for Discharge Excited KrF Laser System )

정재근 ,  최부연 ,  이주희

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

방전여기 KrF 레이저 장치의 방전특성 해석

정재근 ,  최부연 ,  이주희

대한전기학회 학술대회 논문집

1988 .07

Chemically Amplified p-Hydroxystyrene Copolymers as KrF Resists

김범석 ,  김영대 ,  이해원

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1997 .04

ADVANCED LITHOGRAPHY

Tsuneo Te ,  asawa

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01