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스퍼터링 증착조건이 TiN막의 마모특성에 미치는 영향 ( The Effect of Sputtering Deposition Conditions on Tribological Characteristics of TiN films )
Tribology and Lubricants
1995 .03
TiN 상에서의 CVD텅스텐막의 성장
한국재료학회 학술발표대회
1992 .01
TiN 표면 위에 텅스텐의 화학증착 ( Chemical Vapor Deposition of Tungsten on TiN Surface )
전자공학회논문지-A
1992 .04
화학 증착법에 의한 텅스텐 박막 ( CVD-W )
전자공학회지
1988 .08
Cycle-CVD법으로 증착된 TiN 박막의 ALD 증착기구와 특성에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
1998 .01
TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)
한국재료학회지
1993 .01
기상화학증착 텅스텐 막질의 표면 형태에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2008 .06
D. C. 마그네트론 스퍼터링에 의한 증착조건이 TiN다층박막의 밀착력에 미치는 영향
한국표면공학회지
1996 .08
유도결합 플라즈마 스퍼터링법을 이용한 상온에서의 TiN막의 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
TiN코팅층의 색상과 구조에 미치는 스퍼터링 조건의 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1992 .10
TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(I) : Al/TiN/Si 구조
한국재료학회지
1995 .01
유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
스퍼터링한 Ti의 질화에 의한 TiN 형성
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
플라즈마 화학증착법 및 진공 화학 증착법에 의한 텅스텐 박막의 특성 비교 ( I ) ( Characteristic Comparison of Plasma Enhanced CVD and Vacuum CVD Tungsten Thin Films )
대한전자공학회 학술대회
1990 .01
TiN 기판상에서의 CVD텅스텐의 핵생성에 관한 연구
한국재료학회지
1992 .01
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