D. C. 마그네트론 스퍼터링에 의한 증착조건이 TiN다층박막의 밀착력에 미치는 영향

김선규 ,  유정광 ,  이건환 외 1명

한국표면공학회지

1996 .08

TiN코팅층의 색상과 구조에 미치는 스퍼터링 조건의 영향

김학동 ,  이건환 ,  이인섭 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1992 .10

공정 조건이 TiN 코팅층의 물성에 미치는 영향

양지훈 ,  김성환 ,  정재훈 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성

정재인 ,  박형국 ,  문종호 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .05

원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구

이준우 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

TiN피막의 경도 및 구조적 특성에 미치는 화학증착 조건의 영향

申宗勳 ,  李性來 ,  白瑩鉉

한국표면공학회지

1987 .09

Hard Coating 응용을 위한 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 TiN 박막의 특성에 대한 연구

김영렬 ,  박용섭 ,  최원석 외 1명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)

이종무 ,  권난영 ,  손재현 외 1명

한국재료학회지

1993 .01

ALE 법에 의한 TiN 박막의 증착 및 특성 ( Deposition and Characteristics of TiN Thin Films by Atomic Layer Epitaxy )

김동진 ,  정영배 ,  이명복 외 4명

전자공학회논문지-SD

2000 .06

유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구

박진용 ,  김주연 ,  서상원 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

경사 증착법으로 제조된 TiN 박막의 특성 연구

장승현 ,  양지훈 ,  박혜선 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구

김광석 ,  김범석 ,  이상율

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

플라즈마 화학증착된 TiN박막의 마모특성

인치범 ,  천성순

한국재료학회지

1993 .01

유도결합 플라즈마 스퍼터링법을 이용한 상온에서의 TiN막의 증착에 관한 연구

나형돈 ,  박홍식 ,  정동하 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

스퍼터링 방법으로 증착된 TiN층의 RTA 처리가 텅스텐 화학 기상 증착시 결함 ( defect ) 형성에 미치는 영향 ( Effects of Rapid Thermal Annealing of Sputtered TiN on Defect Formation During CVD of W )

염승진 ,  황성보 ,  김춘환 외 3명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

반응성 스트터링에서 방전특성과 TiN 박막의 물성특성의 상관 관계 연구

朴正后 ,  金光和 ,  河弘周 외 3명

전기학회논문지

1993 .08

빗각 증착으로 제조된 TiN 박막의 특성

정재훈 ,  양지훈 ,  박혜선 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

TiN의 충진처리가 확산방지막 특성에 미치는 영향(I) : Al/TiN/Si 구조

박기철 ,  김기범

한국재료학회지

1995 .01