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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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D.C. 마그네트론 스파터링법에 의하여 증착된 TiN 다층 박막의 특성과 밀착력에 대하여
한국표면공학회지
1997 .06
DC마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 TiN박막의 밀착력과 내마모성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1995 .10
표면전처리가 반응성 스퍼터링법으로 제조한 TiN 코팅층의 밀착력에 미치는 영향
한국표면공학회지
1993 .10
스퍼터링 증착조건이 TiN막의 마모특성에 미치는 영향 ( The Effect of Sputtering Deposition Conditions on Tribological Characteristics of TiN films )
Tribology and Lubricants
1995 .03
실험계획법을 이용한 금형강에 증착된 TiN박막의 밀착력에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1995 .05
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 화합물 박막의 고속 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .11
반응성 마그네트론 스퍼터 이온 플레이팅법으로 증착된 TiN 박막의 접착력 및 마모 특성
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Indium-Tin Oxide 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2000 .11
TiN코팅층의 색상과 구조에 미치는 스퍼터링 조건의 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1992 .10
유도결합 플라즈마 스퍼터링법을 이용한 상온에서의 TiN막의 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
Reactive Magnetron Sputter Ion Plating법으로 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구
한국표면공학회지
2000 .04
이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1998 .05
원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
자기장 분포 제어에 의한 마그네트론 스퍼터링 증착 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2011 .07
마그네트론 스퍼터링 기술의 개발 동향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .11
DC 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 구리박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2004 .05
Hard Coating 응용을 위한 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 TiN 박막의 특성에 대한 연구
전기전자재료학회논문지
2008 .01
TiN 에 대한 W의 부착특성에 관한 연구(l)
한국재료학회지
1993 .01
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