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이용수
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 요약
참고문헌
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
ICP 스퍼터링법에 의하여 제조된 TiN 피막의 기계적 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .05
유도 결합 플라즈마 화학기상 증착법에 의한 TiN 증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
유도 결합 플라즈마 스퍼터링 증착법에 의한 광촉매용 TiO₂ 증착
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
스퍼터링 증착조건이 TiN막의 마모특성에 미치는 영향 ( The Effect of Sputtering Deposition Conditions on Tribological Characteristics of TiN films )
Tribology and Lubricants
1995 .03
Hard Coating 응용을 위한 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 TiN 박막의 특성에 대한 연구
전기전자재료학회논문지
2008 .01
유도 결합 플라즈마를 이용한 마그네트론 스퍼터링법에 의한 (Ti,Cr)N박막의 제조 및 특성 평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .11
유도결합 플라즈마(ICP) 스퍼터링법을 이용한 CrB₂ 박막의 제조
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
DC 스퍼터법과 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 수퍼하드 TiN 코팅막의 물성 비교연구
한국표면공학회지
2013 .04
DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가
한국재료학회 학술발표대회
2004 .01
The properties of (Ti,Al)N coatings deposited by inductively coupled plasma assisted d.c. magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
D. C. 마그네트론 스퍼터링에 의한 증착조건이 TiN다층박막의 밀착력에 미치는 영향
한국표면공학회지
1996 .08
표면전처리가 반응성 스퍼터링법으로 제조한 TiN 코팅층의 밀착력에 미치는 영향
한국표면공학회지
1993 .10
유도 결합 플라즈마를 이용한 TiN 박막의 식각 특성
한국표면공학회지
2008 .06
유도결합 플라즈마를 이용한 크름 증착에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2001 .06
Reactive Magnetron Sputter Ion Plating법으로 증착된 TiN 박막의 특성에 관한 연구
한국표면공학회지
2000 .04
Physical properties of TiN thin films deposited by grid-assisted magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2002 .05
유도결합 플라즈마-마그네트론 스퍼터링 방법을 이용한 저온 폴리실리콘 제조
한국표면공학회지
2004 .06
TiN코팅층의 색상과 구조에 미치는 스퍼터링 조건의 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1992 .10
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