수평구동형 정전반발력 마이크로액추에이터 ( Laterally-Driven Electrostatic Repulsive-Force Microactuator )

이기방 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2001 .03

수평공진형 다결정실리콘 미소액추에이터의 설계 , 제작 및 시험 ( Design , Microfabrication and Testing of Laterally-Resonating Polysilicon Microactuators )

조영호

대한기계학회 논문집 A권

1996 .05

삼각 팁을 이용한 저전압 구동형 정전방식 마이크로액추에이터 ( Electrostatic Microactuators operated at low drive voltage Using Triangular Tip )

김봉환 ,  성우경 ,  전국진

전자공학회논문지-SD

2001 .09

수평공진형 미소 정전기액추에이터를 위한 미소보 현수시스템의 설계 ( Design of Micromechanical Flexure Suspensions for Laterally-Resonating Electrostatic Microactuators )

조영호

대한기계학회 논문집

1995 .12

수평 구동형 정전 반발력 마이크로엑추에이터의 Creeping 유동 모델에 의한 공기 감쇠

李起昉 ,  徐榮晧 ,  曺永昊

전기학회논문지 C

2001 .11

전도성 고분자를 이용한 마이크로 액추에이터의 제작

李承起 ,  崔英 ,  安浩廷 외 3명

전기학회논문지 C

2000 .12

SOI를 이용한 하드 디스크 드라이브용 정전형 트랙 추적 마이크로 액추에이터의 제작 ( Fabrication of Electrostatic Track-Following Microactuator for Hard Disk Drive Using SOI )

김봉환 ,  전국진 ,  성우경 외 1명

전자공학회논문지-SD

2000 .08

Analyses of Temperature Behaviours at Fabrication Processes for Microaccelerometer Sensors

O. S. Kim

동력시스템공학회지

2001 .02

Frequency Response Analysis of Electrostatic Microactuators

Dong-Ki Min

대한전기학회 학술대회 논문집

2002 .07

초기변형 최소화를 위한 광변조 압전 다층박막 액추에이터의 설계, 제작 및 시험

金明震 ,  曺永昊

전기학회논문지 C

2000 .09

정전형 미소 평판 공진자의 설계 및 제작

鄭玉贊 ,  梁翔植

전기학회논문지 C

1999 .06

마이크로가속도계 센서의 최적형상 모색

장판수 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

1999 .11

정전형 마이크로 액튜에이터의 정밀위치제어

김승한 ,  성유경 ,  이효정

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1997 .11

DESIGN AND FABRICATION OF ELECTROSTATIC MICROACTUATORS WITH SILICON DIAPHRAGMS

E. H. Yang ,  S. S. Yang ,  S. H. Yoo

대한전자공학회 워크샵

1995 .01

정전형 inchworm 마이크로 액튜에이터의 설계 및 제작

이승기 ,  江刺正喜

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

비등간격 수평감지 전극구조의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계

韓基鎬 ,  曺永昊

전기학회논문지 C

2001 .07

Feedback Control for Expanding Range and Improving Linearity of Microaccelerometers

박용화 ,  박상준 ,  최병두 외 6명

제어로봇시스템학회 논문지

2004 .11

정전기력을 이용한 마이크로가속도계 센서의 마이크로머시닝 공정해석

김옥삼

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2000 .04

고 감지 전압을 이용한 개인 정보기기용 고정도 정전용량형 단결정 실리콘 가속도계 ( A High Resolution Capacitive Single-Silicon Microaccelerometer using High Amplitude Sense Voltage for Application to Personal Information System )

한기호 ,  조영호

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .01

A Study on the Thermal Behavior in Microaccelerometer Manufacturing Processes

Ok Sam Kim

KSME International Journal

1998 .12