수평구동형 정전반발력 마이크로액추에이터 ( Laterally-Driven Electrostatic Repulsive-Force Microactuator )

이기방; 조영호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이기방 조영호

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제25권 제3호

발행연도: 2001.3

수록면: 424 - 433 (10page)

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이기방

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주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 2 이용수 87

조영호

소속기관 한국항공우주연구원

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학 TOP 5% 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

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