고 감지 전압을 이용한 개인 정보기기용 고정도 정전용량형 단결정 실리콘 가속도계 ( A High Resolution Capacitive Single-Silicon Microaccelerometer using High Amplitude Sense Voltage for Application to Personal Information System )

한기호 ,  조영호

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .01

A Capacitive Silicon Microaccelerometer with Force Balancing Electrodes

Byeoung Ju Ha ,  Yong Soo Oh ,  Byeung Leul Lee 외 3명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 ( Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer )

김종팔 ,  한기호 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2001 .03

고감지전압 및 가지전극을 이용한 고정도 정전용량형 미소가속도계의 전기적 잡음 감소 및 자율 균형력 발생에 의한 강성 증가

韓基鎬 ,  曺永昊

전기학회논문지 C

2002 .04

p+ 컨틸레버 빔을 이용한 다결정 실리콘 압저항 가속도계의 제작

지영훈 ,  양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .11

마이크로가속도계 센서의 최적형상 모색

장판수 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

1999 .11

다결정 실리콘 이중전극 구조를 이용한 16X16 이차원 전하결합 영상감지소자의 설계 , 제작 및 동작 ( Design Fabrication and Operation of the 16X16 Charge Coupled Area Image Sensor Using Double Polysilicon Gates )

정지채 ,  오춘식 ,  김충기

전자공학회지

1985 .05

고온 열처리에 따른 다결정 실리콘 박막의 특성

최승진 ,  황완식 ,  이인규

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

접촉식 정전용량 변위 센서의 성능향상을 위한 다중 전극 배열 방법

강대실 ,  문원규

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

터치키 응용을 위한 풀 디지털 정전용량 센서

성광수 ,  이무진

전자공학회논문지-SD

2009 .06

다결정실리콘의 경사식각에 관한 연구 - 제1부 : 실험적 고찰 ( A Study on Taper Etching of Polysilicon - Part 1 : The Experimental Study )

이정규 ,  서동량 ,  변재동

전자공학회논문지

1989 .07

Feedback Control for Expanding Range and Improving Linearity of Microaccelerometers

박용화 ,  박상준 ,  최병두 외 6명

제어로봇시스템학회 논문지

2004 .11

A Study on the Thermal Behavior in Microaccelerometer Manufacturing Processes

Ok Sam Kim

KSME International Journal

1998 .12

이동 로봇의 수직 운동 감지를 위한 초소형 MEMS Z축 가속도계

이상민 ,  조동일

로봇학회 논문지

2007 .09

수평구동형 정전 액추에이터를 이용한 극소형 공진가속도계의 설계, 제작 정적시험 및 오차분석 ( Design, Fabrication, Static Test and Uncertainty Analysis of a Resonant Microaccelerometer Using Laterally-driven Electrostatic Microactuator )

서영호 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2001 .03

Analyses of Temperature Behaviours at Fabrication Processes for Microaccelerometer Sensors

O. S. Kim

동력시스템공학회지

2001 .02

급속 열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성 연구 ( Effects of the Rapid Thermal Annealing on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

전자공학회논문지

1988 .09

고감지전압 및 가지전극을 이용한 고정도 정전용량형 미소가속도계

한기호 ,  조영호

대한기계학회 논문집 A권

2004 .01

발사체 탱크 추진제 수위 측정시스템 감지부 선행연구

신동순 ,  이응신 ,  고현석 외 1명

한국추진공학회 학술대회논문집

2009 .11

급속열처리 공정에 의한 다결정 실리콘 박막의 전기적 , 구조적 특성연구 ( Effects of the Rapid Thermal Anneal on the Electrical and Structural Properties of Polysilicon Films )

김윤태 ,  유형준 ,  전치훈 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11