수평 구동형 정전 반발력 마이크로엑추에이터의 Creeping 유동 모델에 의한 공기 감쇠

李起昉; 徐榮晧; 曺永昊

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자료유형: 학술저널

저자정보: 李起昉徐榮晧曺永昊

저널정보: 대한전기학회 전기학회논문지 C 전기학회논문지 제50C권 제11호

발행연도: 2001.11

수록면: 581 - 588 (8page)

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