DESIGN AND FABRICATION OF ELECTROSTATIC MICROACTUATORS WITH SILICON DIAPHRAGMS

E. H. Yang; S. S. Yang; S. H. Yoo

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: E. H. Yang S. S. Yang S. H. Yoo

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 워크샵 대한전자공학회 워크샵(IWAM : International Workshop on Advanced Mechatronics)

발행연도: 1995.1

수록면: 247 - 256 (10page)

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