Analyses of Temperature Behaviours at Fabrication Processes for Microaccelerometer Sensors

O. S. Kim

동력시스템공학회지

2001 .02

정전기력을 이용한 마이크로 가속도센서 축전기부의 주울발열에 의한 온도분포 해석 ( Temperature Distribution Analyses for Joule Heat of Microaccelerometer Sensor Using Electrostatic Force )

김옥삼

대한기계학회 논문집 A권

1998 .07

마이크로가속도계 센서의 최적형상 모색

장판수 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

1999 .11

미소가속도계 센서의 마이크로머시닝 공정에서 열적거동 해석

김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2000 .05

마이크로머시닝 기술

이응숙 ,  이성국 ,  황경현

기계와 재료

1995 .01

국내 마이크로머신 기술개발 동향 및 연구과제 ( Introduction to HAN-Project : Micromachinning Technology Development )

신상모 ,  박용국 ,  김남현

대한기계학회지

1997 .01

Analyses of the Temperature Distribution at Micromachining Processes for Microaccelerometer Based on Tunneling Current Effect

김옥삼

한국공작기계학회지

2000 .12

SOI웨이퍼를 이용한 마이크로가속도계 센서의 열응력해석(Ⅰ)

김옥삼

동력시스템공학회지

2001 .05

정전기력을 받는 마이크로 외팔보의 동적 해석

정강식 ,  문승재 ,  유홍희

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2004 .05

UV 레이저 마이크로 머시닝을 이용한 마이크로 채널 제작

양성빈 ,  장원석 ,  김재구 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .05

레이저 응용 마이크로머시닝 기술

윤경구 ,  이성국 ,  김재구 외 1명

기계와 재료

1999 .01

정전기력을 이용한 마이크로/나노 패터닝 기술

김동수 ,  김정수

기계와 재료

2007 .01

마이크로 센서기술 특집을 내면서

오명환

전기의세계

1992 .02

SOI웨이퍼의 마이크로가속도계 센서에 대한 열변형 유한요소해석

김옥삼 ,  구본권 ,  김일수 외 2명

한국생산제조학회지

2002 .08

미소가속도계 센서의 페블리케이션 공정에서 온도해석

황규영 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

1999 .11

정전기력으로 작동되는 마이크로펌프의 제작

정동건 ,  공대영 ,  홍표환 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

턴널링 전류효과를 이용한 마이크로가속도 센서의 축전기부 해석

김옥삼

동력시스템공학회지

1999 .11

정전기력을 받는 마이크로 이중 외팔 보의 응답 및 모드 해석

정강식 ,  문승재 ,  유홍희

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2004 .11

마이크로머시닝 기술의 의학 및 생물학 응용

장준근 ,  김용권

전자공학회지

1997 .10

정전기력을 이용한 마이크로 엑츄에이터 소재의 미소 기계적 구동특성 분석

이세호 ,  김재석 ,  손동일 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07