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이용수
Abstract
1. 서론
2. 마이크로가속도계 센서
3. 모델링 과정
4. 고찰 및 검토
5. 결론
참고문헌
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Analyses of Temperature Behaviours at Fabrication Processes for Microaccelerometer Sensors
동력시스템공학회지
2001 .02
정전기력을 이용한 마이크로가속도계 센서의 마이크로머시닝 공정해석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2000 .04
SOI웨이퍼를 이용한 마이크로가속도계 센서의 열응력해석(Ⅰ)
동력시스템공학회지
2001 .05
SOI웨이퍼의 마이크로가속도계 센서에 대한 열변형 유한요소해석
한국생산제조학회지
2002 .08
Feedback Control for Expanding Range and Improving Linearity of Microaccelerometers
제어로봇시스템학회 논문지
2004 .11
A Study on the Thermal Behavior in Microaccelerometer Manufacturing Processes
KSME International Journal
1998 .12
미소가속도계 센서의 페블리케이션 공정에서 온도해석
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
1999 .11
미소가속도계 센서의 마이크로머시닝 공정에서 열적거동 해석
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2000 .05
턴널링 전류효과를 이용한 마이크로가속도 센서의 축전기부 해석
동력시스템공학회지
1999 .11
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대한기계학회 춘추학술대회
1998 .01
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대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
어레이 햅틱엑추에이터 성능평가를 위한 박막형 가속도 센서 제조
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
Feedback Control for Expanding Range and Improving Linearity of Microaccelerometers
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2004 .08
이동 로봇의 수직 운동 감지를 위한 초소형 MEMS Z축 가속도계
로봇학회 논문지
2007 .09
A Capacitive Silicon Microaccelerometer with Force Balancing Electrodes
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
진동 가속도계
소음·진동
2002 .08
고 감지 전압을 이용한 개인 정보기기용 고정도 정전용량형 단결정 실리콘 가속도계 ( A High Resolution Capacitive Single-Silicon Microaccelerometer using High Amplitude Sense Voltage for Application to Personal Information System )
대한기계학회 춘추학술대회
2001 .01
마이크로가속도계의 열응력에 대한 유한요소해석
한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집
2000 .05
정전기력을 이용한 마이크로 가속도센서 축전기부의 주울발열에 의한 온도분포 해석 ( Temperature Distribution Analyses for Joule Heat of Microaccelerometer Sensor Using Electrostatic Force )
대한기계학회 논문집 A권
1998 .07
미소가속도계 센서의 재조공정에서 잔류응력 해석 ( Analysis of Residual Stresses at Manufacturing Processes for Microaccelerometer Sensors )
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2001 .05
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