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이용수
요약
1. Introduction
2. Microaccelerometer based on tunnelling current concept
3. Fabrication processes
4. Computational modeling
5. Results and discussions
6. Conclusions
References
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미소가속도계 센서의 페블리케이션 공정에서 온도해석
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
1999 .11
마이크로가속도계 센서의 최적형상 모색
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
1999 .11
정전기력을 이용한 마이크로가속도계 센서의 마이크로머시닝 공정해석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2000 .04
미소가속도계 센서의 마이크로머시닝 공정에서 열적거동 해석
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2000 .05
SOI웨이퍼를 이용한 마이크로가속도계 센서의 열응력해석(Ⅰ)
동력시스템공학회지
2001 .05
A Study on the Thermal Behavior in Microaccelerometer Manufacturing Processes
KSME International Journal
1998 .12
SOI웨이퍼의 마이크로가속도계 센서에 대한 열변형 유한요소해석
한국생산제조학회지
2002 .08
Feedback Control for Expanding Range and Improving Linearity of Microaccelerometers
제어로봇시스템학회 논문지
2004 .11
극저온에서의 콘크리트의 거동
콘크리트학회지
1997 .08
Analyses of the Temperature Distribution at Micromachining Processes for Microaccelerometer Based on Tunneling Current Effect
한국공작기계학회지
2000 .12
정전기력을 이용한 마이크로 가속도센서 축전기부의 주울발열에 의한 온도분포 해석 ( Temperature Distribution Analyses for Joule Heat of Microaccelerometer Sensor Using Electrostatic Force )
대한기계학회 논문집 A권
1998 .07
미소가속도계 센서의 재조공정에서 잔류응력 해석 ( Analysis of Residual Stresses at Manufacturing Processes for Microaccelerometer Sensors )
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2001 .05
턴널링 전류효과를 이용한 마이크로가속도 센서의 축전기부 해석
동력시스템공학회지
1999 .11
어레이 햅틱엑추에이터 성능평가를 위한 박막형 가속도 센서 제조
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .05
미소 가속도계 센서의 주울발열 해석 ( Analysis of Joule Heating for Microaccelerometer Sensor )
대한기계학회 춘추학술대회
1998 .01
압전재료를 이용한 SAW 온도센서의 제작 및 특성에 대한 연구
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2004 .05
수평구동형 정전 액추에이터를 이용한 극소형 공진가속도계의 설계, 제작 정적시험 및 오차분석 ( Design, Fabrication, Static Test and Uncertainty Analysis of a Resonant Microaccelerometer Using Laterally-driven Electrostatic Microactuator )
대한기계학회 논문집 A권
2001 .03
온도센서의 비교
대한전자공학회 학술대회
2013 .07
Feedback Control for Expanding Range and Improving Linearity of Microaccelerometers
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2004 .08
이동 로봇의 수직 운동 감지를 위한 초소형 MEMS Z축 가속도계
로봇학회 논문지
2007 .09
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