WS₂ 원자 층 제어을 위한 혼합 3종 가스 기반 RIE 식각

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저자정보: 김성호 (한국기계연구원) 석현호 (성균관대학교) 강민지 (한국기계연구원) 안병선 (한국에너지기술연구원) 강우석 (한국기계연구원) 김태성 (성균관대학교) 최민섭 (충남대학교) 김형우 (한국기계연구원) 김형우 (한국기계연구원)

이용수

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