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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제29권 제8호
발행연도
2016.1
수록면
455 - 460 (6page)

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고효율 실리콘 태양전지는 빛흡수를 증가시키고 전면의 반사도를 줄이는 것이 요구된다. 단결정 실리콘 태양전지 같은 경우에는 알칼리 용액을 사용하는 습식 텍스쳐링이 널리 알려졌다. 그러나 알칼리 텍스쳐링 방법은 무작위의 결정 방향의 결정립면 때문에 다결정 실리콘 웨이퍼에는 비효율적이다. 산 텍스쳐링 방법은 표면 반사도를 줄이기 위해서 다결정 실리콘 웨이퍼에 사용된다. 다결정 실리콘 웨이퍼의 반사도를 줄이기 위해서 기술적인 방법인 산 텍스쳐링 방법과 반응성 이온 건식식각을 이용했다. 본 논문에서는 RIE 실험 조건인 RF power를 변화시켜 최적화 연구를 하였다.
#RIE #reactive ion etching) #RF #radio frequency) power #Reflectance #Solar cell

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J.S.Yoo / 2010 / Sol.Energy 84:730~734 Crossref J. S. Yoo / 2011 / Sol. Energ. Mat. Sol. C. 95:2~6 Crossref K. H. Kim / 2008 / Sol. Energ. Mat. Sol. C. 92:960~968 Crossref G.Kumaravelu / 2002 / Photovoltaic Specialists Conference / Conference Record of the Twenty-NinthIEEE :258~261 google schola Y. Xia / 2011 / Sol. Energy 85:1574~1578 Crossref

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