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학술저널
저자정보
황상혁 (광운대학교 전자바이오물리학과) 권희태 (광운대학교 전자바이오물리학과) 김우재 (광운대학교 전자바이오물리학과) 최진우 (광운대학교 전자바이오물리학과) 신기원 (광운대학교 전자바이오물리학과) 양창실 (제이비코포레이션) 권기청 (광운대학교 전자바이오물리학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제27권 제4호
발행연도
2017.1
수록면
211 - 215 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2017

대기압 플라즈마를 이용한 결정질 태양전지 표면 식각 공정연구
황상혁 전자바이오물리 2017.01 학위논문
대기압 플라즈마를 이용한 결정질 태양전지 표면 식각 공정
황상혁 ,  권희태 ,  김우재 외 4명 한국재료학회지 2017.01 학술저널

2016

캐패시턴스 측정을 통한 대기압 플라즈마 젯 진단에 관한 연구
황상혁 ,  이승준 ,  이예슬 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2016.02 학술대회자료

2015

대기압 DBD 플라즈마를 이용한 태양전지 도핑 공정 연구
황상혁 ,  박종인 ,  김우재 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.08 학술대회자료
대기압 플라즈마 소스를 이용한 태양전지 전면 도핑 공정 연구
황상혁 ,  박종인 ,  박혜진 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2015.02 학술대회자료

초록· 키워드

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Reactive Ion Etching (RIE) and wet etching are employed in existing texturing processes to fabricate solar cells. Laser etching is used for particular purposes such as selective etching for grooves. However, such processes require a higher level of cost and longer processing time and those factors affect the unit cost of each process of fabricating solar cells. As a way to reduce the unit cost of this process of making solar cells, an atmospheric plasma source will be employed in this study for the texturing of crystalline silicon wafers. In this study, we produced the atmospheric plasma source and examined its basic properties. Then, using the prepared atmospheric plasma source, we performed the texturing process of crystalline silicon wafers. The results obtained from texturing processes employing the atmospheric plasma source and employing RIE were examined and compared with each other. The average reflectance of the specimens obtained from the atmospheric plasma texturing process was 7.88 %, while that of specimens obtained from the texturing process employing RIE was 8.04 %. Surface morphologies of textured wafers were examined and measured through Scanning Electron Microscopy (SEM) and similar shapes of reactive ion etched wafers were found. The Power Conversion Efficiencies (PCE) of the solar cells manufactured through each process were 16.97 % (atmospheric plasma texturing) and 16.29 % (RIE texturing).
#atmospheric plasma #reactive ion etching #RIE) #silicon solar cells #texturing

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D. H. Macdonald / 2004 / Sol. Energy 76:277 google schola W. G. J. H. M. van Sark / 2007 / Energy Policy 35:3121 google schola W. A. Nositschka / 2003 / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 80:227 google schola D. S Ruby / 2002 / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 74:133 google schola Y. Inomata / 1997 / Sol. Energy Mater. Sol. Cells 48:237 google schola

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