Contact Resistance Reduction between Ni–InGaAs and n-InGaAs via Rapid Thermal Annealing in Hydrogen Atmosphere

Jeongchan Lee ,  Meng Li ,  Jeyoung Kim 외 4명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2017 .04

n-InGaAs MOSFETs을 위한 Pd 중간층을 이용한 Ni-InGaAs의 열 안정성 개선

이맹 ,  신건호 ,  이정찬 외 2명

전기전자재료학회논문지

2018 .03

Reduction of Contact Resistance Between Ni-InGaAs Alloy and In0.53Ga0.47As Using Te Interlayer

Meng Li ,  신건호 ,  이희덕 외 2명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2017 .10

InGaAs 나노박막의 열전도도 측정

김정원 ,  박환주 ,  김우철

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .04

Investigation of microstructural and electrical properties of self-aligned Ni-InGaAs alloy contacts to InGaAs as a function of rapid thermal annealing temperature

Shim-Hoon Yuk ,  Hyun-Gwon Pa ,  k 외 5명

Journal of Ceramic Processing Research

2020 .01

이온 빔을 이용한 Chrome 원자층 식각 연구

김주은 ,  김두산 ,  이원오 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

LNA 설계를 통한 InGaAs FinFET RF특성 분석

정승익 ,  김소영

대한전자공학회 학술대회

2016 .06

Optimization of Plasma Atomic Layer Etch Process for Silicon Carbide

K. I. Lee ,  Y. S. Choi

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

Generation and Applications of Radicals and Ions with Plasmas in Etching Processes of Semiconductor Device Fabrication

Heeyeop Chae ,  Yongjae Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

이온빔을 이용한 Black Phosphorus 식각 연구

김두산 ,  이원오 ,  박진우 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

GaN epitaxy 층의 식각특성에 미치는 공정변수의 영향

최병수 ,  박혜리 ,  조현

한국결정성장학회지

2016 .01

동종 접합 InGaAs 수직형 Fin TFET의 온도 의존 DC 특성에 대한 연구

백지민 ,  김대현

센서학회지

2020 .01

Cl₂/Ar gas mixture 중성빔을 이용한 블록공중합체 식각 연구

윤덕현 ,  김경남 ,  성다인 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .11

Chlorine-based high density plasma etching of α-Ga2O3 epitaxy layer

엄지훈 ,  Byoung Su Choi ,  Dae Hwi Jeong 외 5명

Electronic Materials Letters

2021 .01

Reducing Contact Resistance Between Ni-InGaAs and n-In_0.53Ga_0.47As using Sn Interlayer in n-In_0.53Ga_0.47As MOSFETs

Meng Li ,  Geonho Shin ,  Jeongchan Lee 외 3명

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2018 .06

이황화 몰리브덴 박막의 반응성 이온 에칭에서 반응 속도 및 결정 의존성

순민기 ,  김관하

대한전기학회 학술대회 논문집

2021 .10

바이오 센서 적용을 위한 수직형 이중게이트 InGaAs TFET의 게이트 열화 현상 분석

백지민 ,  김대현

센서학회지

2022 .01

할로겐 가스 기반의 반응성 이온 식각을 이용한 PRAM 재료 식각 연구

김두산 ,  박진우 ,  이원오 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

Area-Selective Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching for 3-D Nano-Patterning Processes

김우희 ,  Stacey F. Bent

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11