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최혁 (한국교통대학교) 최원석 (한국교통대학교) 박정은 (한국교통대학교) 임동건 (한국교통대학교)
저널정보
한국태양에너지학회 한국태양에너지학회 학술대회논문집 한국태양에너지학회 2021년도 춘계학술발표대회 [초록집]
발행연도
2021.5
수록면
230 - 230 (1page)

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태양광 시장의 대부분을 점유하고 있는 결정질 실리콘 태양전지의 수명을 높이기 위한 태양전지의 개발 방향 중 하나는 도핑 농도를 낮추어 낮은 면저항의 웨이퍼를 제작하는 것이다. 하지만 낮은 면저항은 접촉 비저항을 증가시키는 단점이 있다. 이는 레이저로 LDSE(Laser-Doped Selective Emitter) 구조를 형성시킴으로써 개선할 수 있다. 본 연구에서는 다양한 텍스쳐링 공정에 따른 표면의 크기나 구조의 변화에 따라 웨이퍼에 LDSE 구조 형성 시 받는 영향에 대한 실험을 진행하였다. 웨이퍼에 텍스쳐링 표면을 형성하기 위하여 KOH 텍스쳐링, Ag 금속 촉매 텍스쳐링, RIE(reactive ion etching) 텍스쳐링 공정을 진행하였다. KOH 텍스쳐링은 8.59 %의 반사도를 보였으며, Ag 금속 촉매를 이용한 Ag 1 step 텍스쳐링은 3.5%, Ag 2 step 텍스쳐링은 2.97%, RIE ... 전체 초록 보기
#결정질 실리콘(Crystal silicon) #레이저 도핑된 선택적 에미터(Laser-doped selective emitter) #접촉저항(Contact resistance) #텍스쳐링(Texturing)

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