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Atomic Layer Deposition (ALD) 및 Molecular Layer Deposition (MLD) 하이브리드 공정을 활용한 Al-doped ZnO (AZO)/Alucone 다층박막의 인장거동의 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
상온 ALD-MLD 공정을 이용한 산화알루미늄 - 폴리우레아 유무기 복합 유연 봉지 박막 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
저온 ALD/MLD 를 이용한 유기-무기 하이브리드 기체 투과 방지막 특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
Electrical and Optical Properties of Ti-ZnO Films Grown on Glass Substrate by Atomic Layer Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
Thermal ALD로 증착된 몰리브덴 박막의 증착 특성
대한전자공학회 학술대회
2022 .06
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
유한요소 해석을 이용한 박막 고속 증착용 ALD장비 최적설계
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .04
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
원자층 증착법을 이용하여 투명 Polymide 필름에 증착된 Al₂O₃ / ZnO 다층박막의 표면특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
Influence of In-Situ Molecular Oxygen Incorporation On Electrical Property of Atomic Layer Deposited Zinc Oxide Thin Films
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
ZnO 초박막의 두께 변화에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화 연구
마이크로전자 및 패키징학회지
2019 .01
ALD를 이용한 ZnO 기반 박막물질의 광전소자로의 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향
한국표면공학회지
2025 .02
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