Effect of Thickness on Flexible, Electrical and Optical properties of Ti-ZnO films on Flexible Glass by Atomic Layer Deposition

이우재 ,  권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

ZnO/Ti/ZnO 박막의 결정성 및 전기광학적 완성도 개선 연구

장진규 ,  김유성 ,  이연학 외 6명

한국표면공학회지

2023 .04

기판 온도 변화에 따라 증착되어진 ZnO 박막의 특성과 유기태양전지의 버퍼층으로의 응용

박용섭

전기전자재료학회논문지

2015 .01

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

원자층 증착법을 이용하여 투명 Polymide 필름에 증착된 Al₂O₃ / ZnO 다층박막의 표면특성 평가

이명엽 ,  최병호 ,  이경범

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

원자층 증착법을 이용해 제작한 TiO₂/ZnO 이종접합 박막의 광분해 특성

박지영 ,  최병준

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .11

Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition

홍성환 ,  장은용 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials

전우진

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

기판 온도에 따른 ZnO:Ga 박막의 특성

김정규 ,  박기철

전기전자재료학회논문지

2017 .12

The Properties of ZrO₂ Film Deposition by ALD at Low Temperature

양병찬 ,  신정우 ,  권혁동 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .10

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .12

ZnO 초박막의 두께 변화에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화 연구

강경문 ,  Wang Yue ,  김민재 외 2명

마이크로전자 및 패키징학회지

2019 .01

ZnO buffer 층을 이용한 초음파 분무열분해 ZnO 박막 증착

한인섭 ,  박일규

한국재료학회지

2017 .01

증착 중 자외광 노광에 의한 산화 아연 박막의 특성 변화

김보석 ,  백승재

전기전자재료학회논문지

2016 .01

유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구

최원준 ,  홍경표 ,  최예린 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교

정헌준 ,  최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

Fe₃O₄ 박막의 증착 속도에 따른 광학적 특성 변화

정지윤 ,  김윤재 ,  정윤교 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .04

Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition

Yong Tae Kim ,  Jaeyeong Heo

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

Advanced atomic layer deposition of ultrathin metal films

한지원 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11