ZnO 초박막의 두께 변화에 따른 구조적, 전기적, 광학적 특성 변화 연구

강경문 ,  Wang Yue ,  김민재 외 2명

마이크로전자 및 패키징학회지

2019 .01

ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

Synthesis of Ni(OH)₂@ZnO for high performance supercapacitor electrode materials by combining hydrothermal method and ALD process

김다영 ,  만지흠 ,  권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

ALD alumina-doped ZnO 표면처리 기반 고내구성 수전해조 분리판 개발

서범근 ,  정헌준 ,  심준형

대한기계학회 춘추학술대회

2023 .04

원자층 증착 ZnO/은나노와이어를 이용한 투명 UV 광 검출기

노민수 ,  반동균 ,  박주연 외 1명

전기학회논문지

2019 .09

(ZnO/Co) 다층 박막에서 ZnO층의 두께가 상온강자성 특성에 미치는 영향

강성근 ,  김성동

마이크로전자 및 패키징학회지

2018 .01

[스웨즈락] 최적의 밸브로 ALD 공정의 정확성 및 일관성 개선하는 방법

금연욱

전자기술

2023 .04

Al Doped ZnO층 적용을 통한 ZnO 박막 트랜지스터의전기적 특성과 안정성 개선

엄기윤 ,  이가원 ,  윤호진 외 3명

전기전자재료학회논문지

2015 .01

ZnO/Al/ZnO 구조의 투명전극 적용성 연구

최두호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

저온 졸젤 공정 ZnO 박막을 적용한 정구조 고분자 태양전지 연구

김준영 ,  안건식

한국태양에너지학회 논문집

2022 .10

멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발

김현범 ,  이재욱 ,  양성욱 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .04

전자빔 표면조사에 따른 ZnO/Ag/ZnO 박막의 전기광학적 완성도 연구

김현진 ,  이연학 ,  장진규 외 5명

한국생산제조학회지

2023 .02

ZnO 박막층이 나노 패턴 기반 ZnO 나노로드 성장에 미치는 영향

박성혜 ,  김윤갑 ,  최준혁 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

차세대 인터커넥션 적용을 위한 ALD Ru 금속 박막의 비저항 변화 연구

조인호 ,  이승훈 ,  황해인 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .07

원자층 증착장치에 의한 TiO2 박막 코팅된 폴리머 절연체의 표면 및 전기적 특성의 향상

박용섭 ,  김남훈

전기전자재료학회논문지

2016 .01

Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications

이우재 ,  Susata Be ,  aa 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .06

ZnO/Ti/ZnO 박막의 결정성 및 전기광학적 완성도 개선 연구

장진규 ,  김유성 ,  이연학 외 6명

한국표면공학회지

2023 .04

표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향

고은총 ,  안지상 ,  한정환

한국표면공학회지

2022 .12

저온 증착 된 ZrO₂ ALD 박막의 특성

양병찬 ,  안지환 ,  신정우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10