표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향

고은총; 안지상; 한정환

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 고은총 (서울과학기술대학교) 안지상 (서울과학기술대학교) 한정환 (서울과학기술대학교)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회지 한국표면공학회지 제55권 제6호

발행연도: 2022.12

수록면: 328 - 341 (14page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

Area selective atomic layer deposition (AS-ALD) is a bottom-up nanopattern fabrication method that can grow the ALD films only on the desired substrate areas without using photolithography and etching processes. Particularly, AS-ALD has attracted great attention in the semiconductor manufacturing process due to its advantage in reducing edge placement error by fabricating self-aligned patterns. In this paper, the basic principles and characteristics of AS-ALD are described. In addition, various approaches for achieving AS-ALD with excellent selectivity were comprehensively reviewed. Finally, the technology development to overcome the selectivity limit of AS-ALD was introduced along with future prospects.

#Area selective atomic layer deposition #selectivity #precursor #activation #deactivation

참고문헌 (50)

참고문헌 신청

R. W. Johnson, A. Hultqvist, S. F. Bent, A brief review of atomic layer deposition: from fundamentals to applications, Mater. Today, 17 (2014) 236-246.

A. J. M. Mackus, A. A. Bol, W. M. M. Kessels, The use of atomic layer deposition in advanced nanopatterning, Nanoscale, 6 (2014) 10941-10960.

R. Clark, Perspective: New process technologies required for future devices and scaling, APL. Mater., 6 (2018) 058203.

A. Mameli, Selective atomic layer deposition and etching of oxides, Technische Universiteit, Eindhoven (2018) 7-10.

N. Pinna, M. Knez, Atomic layer deposition of nanostructured materials, Wiley-VCH verlag GmbH & Co KGaA, Weinheim (2012).

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

고은총

소속기관 서울과학기술대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 1 이용수 641

안지상

소속기관 서울과학기술대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 1 이용수 641

한정환

소속기관 서울과학기술대학교

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 TOP 10%

논문수 2 이용수 664

이 논문과 함께 이용한 논문

소형 태양광 무인항공기의 개발 및 비행시험

안일영 , 배재성 , 박상혁 외 1명 한국항공우주학회지 2013 .11

선택적 영역 원자층 증착법을 위한 표면 반응 메커니즘: Al₂O₃ case 연구

오일권 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021 .06

소형 저고도 솔라 무인기 모델링

권은미 , 유기호 , 정구영 외 1명 제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집 2011 .05

플라즈마 표면처리를 통한 CO₂ 전기화학적 전환 촉매성능 개선

최용욱 한국표면공학회지 2022 .10

기판 고유의 선택비를 활용한 SiO₂ 박막의 영역 선택적 증착법

이진선 , 이정민 , 오홍준 외 3명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021 .06

최근 본 자료

전체보기

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (50)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)