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Atomic Layer Deposition (ALD) 및 Molecular Layer Deposition (MLD) 하이브리드 공정을 활용한 Al-doped ZnO (AZO)/Alucone 다층박막의 인장거동의 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
상온 ALD-MLD 공정을 이용한 산화알루미늄 - 폴리우레아 유무기 복합 유연 봉지 박막 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .11
Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Bandgap Control of Sn1-xMgxO Semiconductor Thin Film by MgO Cycle Ratio Control in Atomic Layer Deposition Method
AFORE
2023 .11
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
ALD/MLD 하이브리드 공정을 이용한 ZnO/Zincone 복합 박막 전극의 전기적/기계적 신뢰성 평가
대한기계학회 춘추학술대회
2024 .06
The Moisture Barrier Film Using Thermal Epoxy Resin and Atomic Layer Deposition (ALD)
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2019 .10
환경 센서의 Encapsulation 을 위한 공간분할형 원자층 증착 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .12
Low Temperature HfO₂ Thin Film Encapsulation for Organic Light-Emitting Diodes Grown by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2015 .10
ALD 공정에서의 플라즈마 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
멀티 슬릿 ALD 헤드를 이용한 저온·상압 원자층 박막 증착 공정 기술 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
홈메이드 ALD(atomic layer deposition)의 제작과 알루미늄 옥사이드의 제작
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
신규 Hf 전구체를 이용한 고온 ALD HfO₂ 박막의 불순물 특성 개선
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
Atomic Layer Deposition on Nano-particles using External Vibration
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
원자층 증착법을 이용한 폴리머 전해질 교환막 연료전지 소재 연구 동향
한국표면공학회지
2025 .02
저온.상압 공정 기반 멀티 슬릿 구조의 원자층 증착 헤드 개발에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
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