Atomic Layer Deposition (ALD) 및 Molecular Layer Deposition (MLD) 하이브리드 공정을 활용한 Al-doped ZnO (AZO)/Alucone 다층박막의 인장거동의 평가

황성태; 송승학; 최병호

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 황성태 (고려대학교) 송승학 (고려대학교) 최병호 (고려대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2017년도 학술대회

발행연도: 2017.11

수록면: 2,084 - 2,086 (3page)

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#ALD(원자층 증착법) #MLD(분자층 증착법) #Multilayer(다층구조) #Thin Film(박막) #Tensile test(인장시험)

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