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원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Characteristics of Al₂O₃ thin films grown by using atomic layer deposition at low temperature
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
Atomic Layer Deposition 방법을 이용한 Zinc Oxide Hybrid 박막의 기계적 물성 향상
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
원자층 증착법을 이용하여 투명 Polymide 필름에 증착된 Al₂O₃ / ZnO 다층박막의 표면특성 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
입자 코팅이 가능한 소형 및 저가형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
나노 파우더 원자층 증착을 위한 모듈 개발 및 평가
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
전산유체역학을 이용한 Atomic Layer Deposition 장비의 내부 유동 예측
대한기계학회 춘추학술대회
2017 .11
Electrical and Optical Properties of Ti-ZnO Films Grown on Glass Substrate by Atomic Layer Deposition
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
Improved Film properties of Al₂O₃ Film Deposition on Graphene substrates deposited by UV-assisted Atomic Layer Deposition
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
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