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A Comparative Study of Nanocrystalline HfN Coatings Fabricated by Direct Current and Inductively Coupled Plasma Assisted Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
직류 및 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 HfN 코팅막의 미세구조 및 기계적 물성연구
한국표면공학회지
2020 .04
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
차세대 배선공정을 위한 Inductively Coupled Plasma Assisted Magnetron Sputtering을 이용한 텅스텐 막막 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O5 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
유도결합 및 초고주파 하이브리드 플라즈마 발생장치에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 리튬 이온 이차전지 양극용 바나듐 옥사이드 박막에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2019 .06
Effect of ICP Power on the Residual Stress and Conductivity of TiNbN Thin Films Deposited by Inductively Coupled Plasma Assisted Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
유도 결합 플라즈마 기술
인포메이션 디스플레이
2017 .01
유도결합형 플라즈마 마그네트론 스피터로 제작된 CrN 코팅막의 전기화학적 물성 비교 연구
한국표면공학회지
2022 .04
유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
이중 주파수를 이용한 펄스 유도 결합 플라즈마 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
DC 마그네트론 스퍼터링의 기판 온도 변수로 성장된 TiN 박막의 특성 평가
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
Development of High Entropy Alloy Film using Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
펄스 주파수 및 듀티 사이클이 중간 주파수 마그네트론 스퍼터법으로 증착된 ZrN 코팅막의 미세구조, 잔류응력 및 기계적 특성에 미치는 영향
한국표면공학회지
2024 .08
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