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허상욱 (대덕대학교) 김관하 (대덕대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2021년도 대한전기학회 전기물성∙응용부문회 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.10
수록면
208 - 209 (2page)

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Ta₂O<SUB>5</SUB> 박막의 4.6eV 밴드갭 및 기계적, 화학적 안정성, 넓은 범위의 투과율 등의 특성으로 인하여 반도체 및 다양한 광학소자에 응용 가능성이 대두되나 Glass와 같은 전기 전도성, 열 전도성이 떨어지는 경우 미세패 ... 전체 초록 보기

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