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A Comparative Study of HfN Coatings Deposited by DC and Pulsed DC Asymmetric Bipolar Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .05
직류 및 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 HfN 코팅막의 미세구조 및 기계적 물성연구
한국표면공학회지
2020 .04
Comparative properties of titanium vanadium nitride films deposited by direct current, mid-frequency, and inductively coupled plasma magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
스퍼터 시스템을 이용한 다층막 거울의 코팅 공정 및 특성 파악
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
차세대 배선공정을 위한 Inductively Coupled Plasma Assisted Magnetron Sputtering을 이용한 텅스텐 막막 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
격자 변형 모델을 사용한 고출력 스퍼터 음극 모듈의 냉각 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
IoT 헬스 데이터 공유를 위한 HFN 기반 권한 관리
스마트미디어저널
2021 .01
Cu-ta-C 코팅 막 증착 시 비평형 마그네트론 스퍼터원 파워 유형에 따른 기계적, 트라이볼로지적 특성
한국트라이볼로지학회 학술대회
2021 .10
스퍼터법으로 증착된 몰리브데늄 박막 및 텅스텐 박막의 잔류 응력 제어
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
Application of Inductively Coupled Plasma to PVD and CVD
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
DC Magnetron Sputter Plasma 균일도 향상을 위한 자석배열 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
디스플레이용 DC Magnetron Sputter에서 플라즈마 균일도 향상을 위한 기판전극 형상 설계
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
스퍼터 공정을 이용한 LT-SOFC 제작 및 전기화학적 특성 분석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .07
DC 스퍼터법과 비대칭 바이폴라 펄스 DC 스퍼터법으로 증착된 NbN 코팅막의 물성 비교연구
한국표면공학회지
2015 .08
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