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직류 및 유도결합 플라즈마 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 HfN 코팅막의 미세구조 및 기계적 물성연구
한국표면공학회지
2020 .04
원통형 마그네트론 스퍼터링에 의해 증착한 티타늄 박막의 특성
한국에너지학회 학술발표회
2016 .10
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
ICP 플라즈마 파워 및 반응가스에 따른 AlN 코팅막의 특성 변화에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2020 .12
Deposition of IGZO thin film using DC and ICP at magnetron sputtering system
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
이원 동시 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 In-Sn-Zn-O 박막의 열전 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Zn 나노 구조 제어
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 FeS₂ 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 RF 파워의 영향
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2018 .11
아르곤/이산화탄소 혼합가스의 유도 결합 플라즈마를 이용한 이산화탄소 분해 연구
KEPCO Journal on electric power and energy
2015 .01
직류 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 은 박막에서의 산소 검출에 관한 연구
비파괴검사학회지
2018 .10
Comparative properties of titanium vanadium nitride films deposited by direct current, mid-frequency, and inductively coupled plasma magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
스퍼터링법으로 증착된 몰리브네늄 박막 및 텅스텐 박막의 잔류 응력 제어
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
선형이온소스 및 플라즈마 보조 마그네트론 스퍼터링을 통한 고품위 Cu 박막 형성 기술
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
유도결합 플라즈마 파워가 VN 코팅막의 미세구조, 결정구조 및 기계적 특성에 미치는 영향에 관한 연구
한국표면공학회지
2016 .08
스퍼터링법으로 증착된 초박형 Al 박막의 투명전극 적용성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
Influence of Bias Voltage on the Microstructure and Properties of Ti-Si-N Films Deposited by Using High-power Impulse Magnetron Sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
BaNb₂O6:Eu3+ 박막의 특성에 증착 온도가 미치는 효과
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2015 .06
대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
차세대 배선공정을 위한 Inductively Coupled Plasma Assisted Magnetron Sputtering을 이용한 텅스텐 막막 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
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