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대형 유도 결합 플라즈마 시스템의 플라즈마 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .05
선형 초고주파 플라즈마 및 유도결합 Ar/CH4 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
선형 초고주파 플라즈마의 유체 시뮬레이션에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
유도 결합 플라즈마를 이용한 Plasma Enhanced PVD 공정의 수치 해석
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .11
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2019 .07
Aspect ratio에 따른 Inductively coupled Plasma 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
유체시뮬레이션을 통한 대면적 유도결합 플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
고진공에서의 Inductively Coupled Plasma 특성 진단
대한전기학회 학술대회 논문집
2020 .07
유도 결합 플라즈마 기술
인포메이션 디스플레이
2017 .01
유체시뮬레이션을 이용한 aspect ratio에 따른 유도결합플라즈마의 최적화 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2018 .10
Cutoff Probe를 이용한 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2016 .10
선형 초고주파 플라즈마의 전기적 진단과 유체 시뮬레이션에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2017 .10
유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O5 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
유도결합형플라즈마 이온원을 이용한 단면 분석용 집속이온빔 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
초고주파를 이용한 대기압 저온 플라즈마 제트 특성 해석에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2017 .04
유체시뮬레이션을 통한 Ar/CF₄ 자화유도결합 플라즈마의 특성 연구
전기학회논문지
2015 .04
Ar/CF₄ 혼합가스를 이용한 유도결합 플라즈마 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2022 .07
초고주파 관점에서 살펴본 차세대 통신 시스템
대한전자공학회 학술대회
2016 .06
초고주파 커넥터 특성 구현에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2018 .11
컷오프 탐침법을 이용한 자화유도결합 플라즈마 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2016 .10
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