실리콘의 비등방성 식각을 이용한 집적 센서용 미세 기계 구조의 제작 ( Fabrication of Micromechanic Structures for Integrated Sensor Using Anisotropic Etching of Si )

주병권 ,  이윤희 ,  김형곤 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

( 110 ) 실리콘의 비등방성 부식에 대한 고찰 ( A Study on the Anisotropic Etching of ( 110 ) Silicon )

김진형 ,  김종오 ,  최연익

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

건식식각장치에서 임피던스 측정과 비등방성 식각에 대한 연구

김종식 ,  김흥락 ,  강봉구 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1989 .07

Needle-Type Field Emitter를 만들기 위한 실리콘 비등방성 식각에 관한 연구

고창기 ,  주병권 ,  박홍우 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

N2H2-H2O용액의 { 100 } Si에 대한 최적식각조건의 설정과 전기화학적 식각에의 응용 ( Establishment of Optimal { 100 } Si Etching Condition for N2H4-H2O Solutions and Application to Electrochemical Etching )

주병권 ,  이윤희 ,  김형곤 외 1명

전자공학회논문지

1989 .11

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

MEMS기반 에너지 하베스터 제작을 위한 실리콘 KOH 식각 모형화

민철홍 ,  김태선 ,  강경우

전기전자재료학회논문지

2012 .01

Fabrication of Electrostatically Driven Comb Actuator Using (110) Oriented Si Anisotropic Etching

Hyung-Taek Lim ,  Sang-Hun Lee ,  Seong-Hyok Kim 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

반도체 공정에 적합한 실리콘 이방성 식각에 관한 연구 ( A Study on Anisotropic Etching of Silicon Suitable for IC Process )

정귀상 ,  박진성

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

집적화된 실리콘 압력센서의 제작 ( Fabrication of Integrated Silicon Pressure Sensor )

이보나 ,  이영준 ,  정승민 외 1명

전자공학회논문지-A

1993 .06

무전해 니켈 도금과 실리콘의 이방성 식각을 이용한 미세 가동 구조물의 제작 방법에 관한 연구

金聲赫 ,  金容權 ,  李宰鎬 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .06

이방성 식각용액인 TMAH에 의한 Si 습식 식각

이재복 ,  홍경일 ,  오세훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

붕소 식각 정지층을 이용한 두 개의 한 방향 실리콘 미세 밸브의 제작

서정덕 ,  양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

수용성 암모니아계를 이용한 실리콘 이방성 식각 ( Anisotropic Etching of Silicon with Aqueous Ammonia )

박진성 ,  최영규 ,  정귀상

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

단결정 실리콘의 이방성 식각특성

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .06

단결정 실리콘의 이방성 식각특성 ( Anisotropic Etching Property of Silicon-Crystal Silicon )

천인호 ,  김환영 ,  조남인

대한전자공학회 학술대회

1997 .07