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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
조영수 (충북대학교) 장건익 (충북대학교)
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제31권 제4호
발행연도
2021.8
수록면
190 - 195 (6page)
DOI
10.6111/JKCGCT.2021.31.4.190

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상온에서 PET 기판 위에 Mn-SnO2/Ag/Mn-SnO2 3중 다층막을 RF/DC 마그네트론 스파터링 방식으로 제조하였다. EMP 시뮬레이션 결과에 따라 Mn-SnO2의 막 두께는 40 nm, Ag 막 두께는 13 nm로 고정하였다. 550 nm 파장대역에서 측정한 3중막의 투과율은 82.9에서 88.1% 범위였으며 면저항은 5.9에서 6.9 Ω/□로 변화하였다. 가장 높은 성능지수(фTC)는 48.1×10-3Ω-1로 나타났다. 곡률반경 4, 5mm 조건에서 inner 밴딩과 out 밴딩의 굽힘시험을 10,000회 실시한 결과 Mn-SnO2/Ag/Mn-SnO2 3중막의 저항변화율은 약 1.5%로 탁월한 기계적 유연성을 보였다.
#OMO #Transmittance #Sheet resistance #Figure of merit #Bending test

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참고문헌 (19)

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G. Gustafsson / 1992 / Flexible light-emitting diodes made from soluble conducting polymers / Nature 357:477 google schola Q. Wan / 2007 / Transparent metallic Sb-doped SnO2 nanowires / Appl. Phys. Lett 90:222107 google schola E. Fortunato / 2007 / Transparent conducting oxides for photovoltaics / MRS Bull 32:242 google schola A. Kumar / 2010 / The race to replace tin-doped indium oxide : which material will win? / ACS Nano 4:11 google schola D. S. Hecht / 2011 / Emerging transparent electrodes based on thin films of carbon nanotubes, graphene, and metallic nanostructures / Adv. Mater 23:1482 google schola

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