상부종자 용액 성장에 있어 성장결정상 잔류액적의 영향

하민탄; 신윤지; 배시영; 유용재; 정성민

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자료유형: 학술저널

저자정보: 하민탄 신윤지 배시영 유용재 정성민

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제32권 제6호

발행연도: 2019.1

수록면: 516 - 521 (6page)

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Yu.M. Tairov / 1978 / Investigation of growth processes of ingots of silicon carbide single crystals / Journal of Crystal Growth 43(2):209~212

Eunjin Jung / 2018 / Synthesis of V-doped SiC powder for growth of semi-insulating SiC crystals / Ceramics International 44(18):22632~22637

O. Kordina / 1996 / High temperature chemical vapor deposition of SiC / Applied Physics Letters 69(10):1456~1458

Deok-Hui Nam / 2014 / High-Temperature Chemical Vapor Deposition for SiC Single Crystal Bulk Growth Using Tetramethylsilane as a Precursor / Crystal Growth & Design 14(11):5569~5574

Dieter H Hofmann / 1999 / Prospects of the use of liquid phase techniques for the growth of bulk silicon carbide crystals / Materials Science and Engineering: B 61-62:29~39

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