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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제26권 제6호
발행연도
2016.1
수록면
215 - 219 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2016

다공성 흑연 내부도가니를 이용한 반절연 SiC 단결정 성장에 관한 연구
이동훈 신소재·산업경영공 2016.01 학위논문
다공성 흑연 소재를 이용한 바나듐 도핑된 반절연 SiC 단결정 성장의 특성 연구
이동훈 ,  김황주 ,  김영곤 외 7명 한국결정성장학회지 2016.01 학술저널

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본 연구에서는 다공성 흑연 캡슐에 Vanadium carbide(VC) 분말을 채워 성장시킨 방법과 SiC 분말과 VC 분말을혼합하여 다공성 흑연판을 그 위에 덮은 후 성장시키는 방법으로 진행하였으며, 성장된 결정들은 여러 분석방법을 사용하여 각각의 특성들을 관찰하였다. 반절연 SiC 성장은 6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT(Physical Vapor Transport)법으로 성장을 진행하였다. 반절연으로 성장된 SiC 결정은 XRD를 이용하여 6H-SiC인 것을 확인하였으며, SIMS 분석결과 바나듐도핑 농도가 바나듐 용해의 한계값 보다 높을 경우 석출물이 발생되며, 결정 품질 저하의 원인이 됨을 확인할 수 있었다.
#Silicon carbide #SiC #PVT #Semi-insulating #Vanadium #Porous graphite

목차

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참고문헌 (8)

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N. Ohtani / 2002 / Growth of large high-quality SiC single crystals / J. Cryst. Growth 237-239:1180 google schola A. Gupta / 2012 / Status of large diameter SiC single crystals / Mater. Sci. Forum 717-720:3 google schola St. G. Muller / 2002 / High Quality SiC Substrates for Semiconductor Devices: From Research to Industrial Production / Mat. Sci. Forum 389-393:23 google schola M. Bickermann / 2002 / On the preparation of vanadium-doped semi-insulating SiC bulk crystals / Mater. Sci. Forum 389-393:139 google schola S. Nishino / 1992 / Amorphous and crystalline silicon carbide III, Vol. 56 / Springer-Verlag :15 google schola

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