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Orthorhombic-NiSi/Si (010) 구조의 Pd 치환 연구: 제 1 원리 계산
반도체및디스플레이장비학회지
2008 .01
Ti-capping층이 NiSi의 열적안정성에 미치는 영향
한국재료학회지
2003 .01
DFT를 이용한 Si (001) 기판의 에피택시 NiSi 구조 연구
반도체및디스플레이장비학회지
2007 .01
Cu/Capping Layer/NiSi 접촉의 상호확산
한국재료학회지
2007 .01
밀도범함수를 이용한 정방정계-NiSi (010)/Si 계면 층의 구조 연구
전기전자재료학회논문지
2009 .01
Nickel silicide에 대한 Pd 첨가 효과 : ab initio 계산
반도체및디스플레이장비학회지
2008 .01
새로운 비정질 박막을 이용한 High Quality NiSi 박막의 형성
한국재료학회 학술발표대회
1993 .01
Cu/Ti(Ta)/NiSi 접촉의 열적안정성에 관한 연구
한국재료학회지
2006 .01
Shallow S/D Junction에 적용 가능한 NiSi를 형성하기 위한 Ni-Pd 합금의 특성 연구
대한전자공학회 학술대회
2005 .11
스퍼터링으로 제조된 니켈실리사이드의 미세구조 및 물성 연구
한국재료학회지
2000 .01
Cu/Ti-cappng/NiSi 전극구조 p 접합의 전기적 특성
한국재료학회지
2005 .01
NiSi와 $NiSi_2$에 대한 Co 치환의 영향: ab initio 계산
반도체및디스플레이장비학회지
2007 .01
이리듐 첨가에 의한 니켈모노실리사이드의 고온 안정화
한국재료학회지
2006 .01
Ti-capped NiSi 형성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
Study of Thermal Stability of Ni Silicide using Ni-V Alloy
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2008 .01
NiSi 접촉과 Cu 플러그/Ti 확산방지층의 동시 형성 연구
한국재료학회지
2010 .01
Density Functional Theory (DFT)를 이용한 Tetragonal-NiPdSi/Si (001)의 구조 연구
한국재료학회지
2008 .01
Ti(Ta)-capped NiSi 형성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
CMOS 소자를 위한 NiSi의 Surface Damage 의존성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
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